非硅微纳系统制造技术研究所于2007年经校批准成立的，研究所重点开展非硅特别是聚合物微纳米器件、制造工艺与装备的研究与开发。非硅微纳系统制造技术是制造无法利用CMOS生产的结构、器件与系统的技术，如柔性、大面积器件、非硅材料（高分子/有机、金属等）微纳构件、纳米线/管等结构、生物兼容结构与器件等的制作、操纵与集成工艺技术与装备。研究所目前正在承担国家863、国家自然科学基金、教育部科技创新重大培育、省市重点项目多项，在Nano Letter等高水平刊物和国际会议上发表论文100余篇。研究方向为：

 

新型微纳机电系统及其应用

 

       探讨基于微纳尺度新原理、新现象、新材料的微纳米器件的基本问题。研究低维纳米结构的微纳集成器件概念样机。研发考虑生物兼容性的、低成本微纳米生物器件，如多尺度生物组织支架、生物传感器与执行器、生命科学分析仪器关键组件（如细胞操纵）等。开展典型柔性电子（如射频标签RFID）、仿生机电系统等宏微纳跨尺度机电系统的探索性研究。研究跨尺度、多学科机电系统建模、仿真与设计方法。

 

柔性机电系统制造关键技术与装备

 

      针对柔性基材、或大面积曲面上微纳米机电系统制造特点，开展低成本微纳米结构制作、组装的基础研究；适用于导体、半导体与绝缘材料的喷印、印刷、直写等的关键部件与工艺装备；可印刷电子制造关键技术与装备。密切关注柔性电子制造技术研究进展，开展无芯片、全印刷RFID关键技术与设备研究。

 

       微结构质量检测与评价技术与系统；柔性基材电子（如RFID 芯片与天线）封装技术与装备；RFID天线制造技术；针对低成本RFID巨大的市场需求，积极与企业合作，开发卷对卷天线连续印刷关键技术与设备。RFID天线印刷技术与装备。

 

静电纺丝技术及其应用

 

      探索纳米纤维静电纺丝过程的物理机制；研究可控近场静电纺丝技术的基本问题，探讨将其应用于微纳米器件、柔性机电系统的制造。开发纳米纤维批量电纺技术与设备，开发纳米纤维的工业应用。

 

       本研究室热忱欢迎国内外优秀研究人员来共同开展高水平的合作研究工作，促进学术思想和人才的交流， 繁荣我国的科技和教育事业。

 

 

 

 

                                                   

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