专利成果-非硅微纳系统制造

序号	专利名	发明类型	申请号
1	悬臂式微机械隧道陀螺仪的换能结构	发明专利	200310124163.2
2	聚合物纳米纤维批量喷吐装置	发明专利	200610036635.2
3	纳米吸气剂制备方法	发明专利	200610152030.X
4	硅金键合方法	发明专利	200610135263.9
5	微纳米结构直写装置	发明专利	200610135261.X
6	真空传感器	发明专利	200710008601.7
7	一种电子标签的封装方法	发明专利	200810071536.7
8	电子标签芯片的封装方法	发明专利	200810071537.1
9	电子标签天线过桥的连接方法	发明专利	200810071538.6
10	一种电子标签天线的制备方法	发明专利	200810071539.0
11	电感可调节的平面天线	发明专利	200810071540.3
12	环境敏感性无源电子标签	发明专利	200810071933.4
13	静电驱动喷印头	发明专利	200910111151.3
14	一种应用随机微观三维结构图形的防伪方法	发明专利	200910111570.7
15	控制栅极自对准微喷头	发明专利	200910112035.3
16	有序纳米纤维宏量制备装置	发明专利	201010120814.0
17	一种微纳米多孔结构制造装置及制造方法	发明专利	201010160736.7
18	可起停控制的电纺直写喷头	发明专利	201010611543.9
19	一种全对称硅微谐振式压力传感器	发明专利	201010611298.1
20	一种基于安全气囊系统的电梯安全装置	实用新型	201120089056.0
21	一种带温度补偿式微真空传感器	发明专利	201110078435.4
23	连续工作可控静电喷射装置	发明专利	201110111561.5
24	一种激振式电纺装置	发明专利	201110133702.3
25	一种量产纳米纤维电纺装置	发明专利	201110131494.3
26	一种纳米纤维批量制造装置	发明专利	201110131548.6
27	一种连续供液的近场静电纺丝装置	实用新型	201120165486.6
28	一种电纺纳米纤维三维可控结构装置	发明专利	201110137806.1
29	可旋转式静电纺丝喷头	实用新型	201120258436.2
30	一种近场静电喷印头	发明专利	201110326279.9
31	一种基于纳米压电纤维的压力传感器	发明专利	201110343031.3
32	一种非接触诱导的直径可控纳米纤维电纺装置	发明专利	201110346701.7
33	一种基于带有耦合梁差动结构的硅微谐振式压力传感器	发明专利	201110394692.9
34	一种基于智能调温断电保护的电烙铁座	实用新型	201220031307.4
35	一种电烙铁智能调温断电保护装置	实用新型	201220031308.9
36	一种微器件的真空封装方法	发明专利	201210025120.8
37	电纺直写闭环控制系统及控制方法	发明专利	201210050203.2
39	电液动力耦合直写有芯喷头夹具	实用新型	201220142941.5
22	电纺直写喷印关断控制装置	发明专利	201210106392.0
38	基于静电键合的玻璃/硅/玻璃三层结构材料的制备方法	发明专利	201210145546.7
40	一种用于研磨抛光的晶圆粘片机	实用新型	201220224588.5
41	一种硅微谐振式压力传感器及其制作方法	实用新型	201210282401.1
42	一种电纺直写喷印控制装置	实用新型	201220434953.5
43	金属微纳结构电液喷印装置	发明专利	201210418177.4
44	一种具有加热功能的电纺纳米纤维膜制备装置	发明专利	201210444443.0