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     非硅微纳系统制造技术研究所是2007年经厦门大学批准建设的。非硅微纳系统制造技术是制造无法利用CMOS生产的结构、器件与系统的技术,如柔性电路、触摸屏、柔性显示器、RFID、传感器等的制造工艺技术与装备,是电子制造领域的一项革命性技术,是对传统微硅制造技术的补充。研究所重点开展硅及非硅特别是聚合物微纳米器件、制造工艺与装备的研究与开发。

   


 

1、微纳空天传感器

 

2、柔性传感器


3、3D打印技术