• 孙道恒教授课题组在微量高黏度流体微纳增材制造研究取得重要进展
  • 香山
  • 薄膜透镜阵列驱动与控制数字微流控系统研究
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  非硅微纳系统制造技术研究所于2007年经校批准成立的,研究所重点开展非硅特别是聚合物微纳米器件、制造工艺与装备的研究与开发。非硅微纳系统制造技术是制造无法利用CMOS生产的结构、器件与系统的技术,如柔性、大面积器件...
 
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