2023年11月，2022级硕士生陈广鹏在厦门大学航空航天学院275会议室分享了并联强共耦单片集成三轴MEMS陀螺仪结构设计初探。

硕士陈广鹏汇报研究进展

微陀螺广泛地应用于民用电子设备、惯性导航系统、飞行器制导与控制、汽车导航及安全、军事武器等应用中。在微陀螺的应用中，很多时候需要同时测量三个方向的角速度，传统的解决方法是将三个单轴组合成一个集成的三轴陀螺仪，这种结构其体积大，功耗高，可靠性能差，因而逐渐被淘汰，转而研发可以单片集成的有单一结构组成的三轴陀螺仪。

目前大多数关于单片集成MEMS三轴陀螺仪的研究所大多数是结构齐全但尺寸过大，或者尺寸很小但性能不佳，或者交叉轴耦合较高，因此设计一款尺寸小、精度高、抗干扰、低耦合的单片集成三轴陀螺仪是非常有需要的。

结构设计方案

驱检模态

文 陈广鹏 肖威

图 陈广鹏 刘瑾