仪器名称 * 磁控溅射镀膜机
规格型号 * MSP-300CT型
购置日期 * 2019年
仪器生产商 * 北京创世威纳科技有限公司
仪器介绍 * 1腔体尺寸：Φ500mm*H420mm；2极限真空度：≤6.7×10-5 Pa；3系统漏率：5*10-7Pa.l/s；4静态升压：系统停泵关机后12小时后，真空度≤5Pa；5系统充干燥N2解除真空，短时暴露大气后抽气至9*10-4Pa≤30min。；6磁控靶配置：带角度调节Φ4英寸磁控靶3只。角度调节精度：1°，溅射距离调节幅度：4cm。；7工位数与样品数量： Φ8英寸样品1片或小样品数片。