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磁控溅射镀膜机

2020/01/16 15:14:23      点击:

仪器名称 * 磁控溅射镀膜机
规格型号 * MSP-300CT型
购置日期 * 2019年
仪器生产商 * 北京创世威纳科技有限公司
仪器介绍 * 1腔体尺寸:Φ500mm*H420mm;2极限真空度:≤6.7×10-5 Pa;3系统漏率:5*10-7Pa.l/s;4静态升压:系统停泵关机后12小时后,真空度≤5Pa;5系统充干燥N2解除真空,短时暴露大气后抽气至9*10-4Pa≤30min。;6磁控靶配置:带角度调节Φ4英寸磁控靶3只。角度调节精度:1°,溅射距离调节幅度:4cm。;7工位数与样品数量: Φ8英寸样品1片或小样品数片。