激光原位制造先躯体陶瓷一体化薄膜传感器——组会汇报

2022年4月11日，2021级博士生徐礼达在厦门大学航空航天学院275会议室分享了激光原位制造先躯体陶瓷一体化薄膜传感器的研究报告。

前驱体陶瓷（PDC）材料具有优异性能，被认为是良好的高温传感材料，而薄膜传感器具有响应快、对被测结构或环境无干扰以及可原位制造监测的特点。因此，制造前驱体陶瓷高温薄膜传感器在航空、航天等领域的异型精密结构部件参量测试技术领域具有广阔的应用前景。传统高温炉热解先驱体陶瓷工艺时间较长，且需在高温氛围保护下进行，导致能耗高，易损伤基材，不适用于较低熔点材料。

先驱体陶瓷热解过程

激光选择性局部热解先驱体陶瓷的方法并结合增材制造技术，避免了传统炉热方法能耗高，效率低以及氛围全局加热等缺点。通过结合液相直写图案化技术，成功实现了耐高温导电敏感薄膜以及耐高温抗热冲击的高温绝缘膜层，并将其应用于高温薄膜传感器的制造。

激光热解流程

过激光热解方法制造的应变传感器有着较高的应变系数以及良好的循环稳定性能。

传感器性能测试

图文 徐礼达